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　　首先，在濕法腐蝕、清洗設(shè)備、擴(kuò)散方面，主要是自動(dòng)制絨設(shè)備、自動(dòng)清洗設(shè)備、全封閉擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、去PSG設(shè)備等國(guó)內(nèi)已經(jīng)能夠制造，已經(jīng)達(dá)到世界先進(jìn)水平，且性價(jià)比優(yōu)勢(shì)十分明顯；國(guó)產(chǎn)PECVD（管式）的工藝結(jié)果已接近世界先進(jìn)水平，這是這種設(shè)備的優(yōu)勢(shì)。但它的自動(dòng)化程度(自動(dòng)裝卸片)不如進(jìn)口設(shè)備(進(jìn)口設(shè)備如德國(guó)Centrotherm公司產(chǎn)品，售價(jià)是國(guó)產(chǎn)設(shè)備的三倍左右)，平板型PECVD目前國(guó)內(nèi)已有企業(yè)生產(chǎn)，有待進(jìn)一步驗(yàn)證；第三，國(guó)產(chǎn)絲網(wǎng)印刷機(jī)(只有手動(dòng))，與進(jìn)口自動(dòng)化產(chǎn)品的差距也是在自動(dòng)裝卸片(機(jī)械手)和自動(dòng)檢測(cè)手段上，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已有企業(yè)生產(chǎn)，工藝有待進(jìn)一步驗(yàn)證；第四，高溫?zé)Y(jié)爐技術(shù)提高，開始批量在大線上使用；第五，自動(dòng)檢測(cè)分揀設(shè)備目前國(guó)內(nèi)已達(dá)到國(guó)際中等水平。
　　然而，盡管國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能光伏設(shè)備在國(guó)內(nèi)用戶中已建立起良好的信譽(yù)，得到業(yè)界的廣泛認(rèn)可，越來越多的客戶從價(jià)格適中、性能良好、技術(shù)不斷進(jìn)步的國(guó)產(chǎn)設(shè)備中受益。但我們也應(yīng)該看到，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商在整體技術(shù)水平尤其是尖端技術(shù)水平上和國(guó)外廠商尚有差距。業(yè)內(nèi)專家指出，國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能光伏設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)力不完全在于設(shè)備的性能指標(biāo)，而在于設(shè)備的性能價(jià)格比。成本是太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的終極目標(biāo)，業(yè)內(nèi)有句話，光伏設(shè)備沒有最好的，只有最合適的。據(jù)了解，建設(shè)一條太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線，70%以上的投資是用來購(gòu)買設(shè)備，而國(guó)產(chǎn)設(shè)備的價(jià)格平均只有國(guó)外產(chǎn)品的1/3—1/2，采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備輔以少量進(jìn)口設(shè)備，可以將建線成本降低一半以上。
　　清洗/制絨設(shè)備：?jiǎn)尉Ч韫夥姵夭凼交緡?guó)產(chǎn)，多晶硅電池連續(xù)式進(jìn)口居多
　　當(dāng)前環(huán)境下，國(guó)內(nèi)清洗設(shè)備企業(yè)正直面生存和發(fā)展的問題。調(diào)查中發(fā)現(xiàn)，面對(duì)這場(chǎng)全球性的危機(jī)，電池清洗設(shè)備企業(yè)在擔(dān)憂的同時(shí)，應(yīng)對(duì)未來發(fā)展持謹(jǐn)慎樂觀態(tài)度。擔(dān)憂的是這場(chǎng)風(fēng)險(xiǎn)對(duì)那些發(fā)展不好、實(shí)力不強(qiáng)的企業(yè)影響很大，樂觀的是清洗機(jī)行業(yè)仍然是全球和我國(guó)持續(xù)發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。過去幾年來，清洗機(jī)國(guó)內(nèi)產(chǎn)量快速增長(zhǎng)和外貿(mào)出口量不斷加大，產(chǎn)業(yè)不斷擴(kuò)張，這造成了當(dāng)前大量清洗機(jī)開始“倒向”國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。國(guó)內(nèi)清洗機(jī)行業(yè)因國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的需求萎縮，企業(yè)出現(xiàn)限產(chǎn)和停產(chǎn)的狀況。
　　在太陽(yáng)能電池企業(yè)，目前在清洗制絨方式上采用的設(shè)備方式一般有三種：一種是效率不高但很實(shí)用的手動(dòng)操作清洗設(shè)備；第二種是分體式全自動(dòng)清洗，即清洗、制絨工序各用相關(guān)設(shè)備；第三種是目前較流行的一體式清洗機(jī)，從研磨片到電池片一步到位。以上三種方式各有利弊：手動(dòng)操作盡管慢，但對(duì)于產(chǎn)量不大，人力成本低的廠家來說是很好的選擇；分體式清洗機(jī)對(duì)硅片參數(shù)要求不高，效率也比較高，較容易找出電池片出問題的所在；一體式清洗機(jī)效率高，自動(dòng)化程度高，但對(duì)硅片尺寸要求嚴(yán)格，維護(hù)起來也不太方便。
　　制絨工藝比較復(fù)雜，不同公司有各自獨(dú)特的制絨方法。基本的工藝流程為：上料→HF+HNO3腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→KOH腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→HCl腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→下料→離心機(jī)甩干(離線)。使用到的化學(xué)添加劑有兩種，一種是IPA(異丙醇)，另一種是工業(yè)酒精。目前國(guó)內(nèi)的清洗制絨設(shè)備以達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，體現(xiàn)在以下方面：全程PLC控制，觸摸屏操作；采用新型勻液及風(fēng)道設(shè)計(jì)技術(shù)，降低清洗成本，減少污物的排放；新的密封隔離技術(shù)的使用，杜絕了生產(chǎn)過程中的微漏，保護(hù)整體電氣系統(tǒng)的安全；槽體配置可實(shí)現(xiàn)腐蝕后殘留在片子上的化學(xué)液及污染顆粒的沖洗祛除功能；大多采用機(jī)械手方式移動(dòng)，工藝時(shí)間可以自行調(diào)節(jié)；酸堿槽具有自動(dòng)補(bǔ)液裝置，可實(shí)現(xiàn)無間斷生產(chǎn)；整個(gè)清洗、制絨過程中使用環(huán)保的清洗制絨液，降低了后續(xù)處理成本；最重要的是融合熱氮烘干功能，取代甩干機(jī)，大大降低了碎片率。以上技術(shù)在調(diào)查中，基本以槽式機(jī)為主，在濕法制絨（連續(xù)式）及等離子（干法）制絨機(jī)方面國(guó)內(nèi)正在研發(fā)，試驗(yàn)工藝已取得一定進(jìn)展。
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